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電阻式隨機存取記憶體(RRAM:Resistive RAM)

Hightech   2017-09-02    A20170902001
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❒ 電阻的單位
電阻(Resistor)的單位為「歐姆(Ohm)」,是阻礙電子流動的元件,通常使用電阻較大的金屬或陶瓷(金屬氧化物)製作,在積體電路(IC)內,電阻是用來產生「阻抗」的元件,阻抗會阻止電子在金屬導線中跑得太快,一般是將積體電路中微小的銅導線連接一段電阻較大的金屬或陶瓷(金屬氧化物)薄膜來產生阻抗。科學家發現,某些絕緣材料的電阻值會因為外加電壓大小不同而改變,電阻式隨機存取記憶體(RRAM)利用電壓大小來寫入資料,利用電阻大小來讀取資料,因此稱為「電阻式(Resistive)」。

 

❒ 電阻式隨機存取記憶體(RRAM)的構造
電阻式隨機存取記憶體(RRAM)的構造如<圖一>所示,直接在矽晶圓上使用化學氣相沉積法(CVD)成長一層「金屬電極」,再使用濺鍍法成長一層特別的「絕緣材料」,例如:氧化鉿(HfO2),最後再使用化學氣相沉積法(CVD)成長一層「金屬電極」,並且使用光罩、曝光、顯影、蝕刻將金屬電極蝕刻成金屬導線,金屬導線必須分布在每一個位元(bit),用來存取每一個位元(bit)的資料。
➤高阻態(HRS:High Resistance State):絕緣材料電阻值高。
➤低阻態(LRS:Low Resistance State):絕緣材料電阻值低。
➤重置(Reset):絕緣材料由低阻態(LRS)轉變為高阻態(HRS),如<圖一(a)>所示。
➤設定(Set):絕緣材料由高阻態(HRS)轉變為低阻態(LRS),如<圖一(b)>所示。

 

圖一  電阻式隨機存取記憶體(RRAM)的構造示意圖。

 

❒ 電阻式隨機存取記憶體(RRAM)的工作原理
上層電極與下層電極之間夾著一層特別的絕緣材料,絕緣材料的電阻值會因為外加電壓大小不同而改變,寫入資料與讀取資料的原理如<圖二>所示:
➤寫入資料0:施加正電壓使絕緣材料由高阻態(HRS)轉變為低阻態(LRS),如<圖二(a)>所示。
➤寫入資料1:施加負電壓使絕緣材料由低阻態(LRS)轉變為高阻態(HRS),如<圖二(b)>所示。
➤讀取資料0:量測絕緣材料的電阻較小(電壓較小),如<圖二(c)>所示。
➤讀取資料1:量測絕緣材料的電阻較大(電壓較大),如<圖二(d)>所示。

 

圖二  電阻式隨機存取記憶體(RRAM)的工作原理示意圖。

 

❒ 電阻式隨機存取記憶體(RRAM)的優缺點
➤優點
1.屬於「非揮發性記憶體(NVM)」,電源關閉後資料仍然可以保存。
2.不像快取記憶體(Flash ROM)需要高電壓強迫電子注入浮動閘極,所以耗電量較低。
3.不像硬碟機(HDD)需要使用旋轉馬達與讀取頭,所以很省電、耐撞擊、不跳針。
➤缺點
1.必須使用特別的絕緣材料,發展較晚,製程不夠成熟,良率較低。
2.許多專利由國外公司掌握,如果支付專利費用,則生產成本較高,售價也較高。

 

【請注意】上述內容經過適當簡化以適合大眾閱讀,與產業現狀可能會有差異,若您是這個領域的專家想要提供意見,請自行聯絡作者;若有產業與技術問題請參與社群討論。

 

【延伸閱讀】其他詳細內容請參考「積體電路與微機電產業,全華圖書公司」。<我要買書