SUMMiT製程(Sandia Ultra-planar Multi-level MEMS Technology) Hightech 2018-06-10 12:00 A20160925007 基礎 點閱 178 留言 0 E 0 T 0 免費 基礎 點閱 178 留言 0 E 0 T 0 由美國聖地牙哥國家實驗室於1995年代提出的微機電系統標準製程,主要有十層結構,是由MUMPs製程的七層結構改良而來,設計者所繪製的設計圖必須滿足這個基本構造,才能順利進行代工。