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Hightech  2017-01-13 06:40  201609210024 
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將數百萬個電晶體(CMOS)的幾何圖形第一次縮小,以電子束刻寫在石英片上就形成「光罩(Photomask)」,是製作積體電路(IC)非常重要的工具,由於電子束的直徑大約1μm(微米),所以用電子束刻在石英片上的圖形線寬大約1μm。