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黃光微影(Photolithography)
Hightech  2017-01-23 21:28  201609210023 
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將光罩上的圖形縮小之後轉移到矽晶圓上稱為「圖形轉移(Pattern transfer)」,所使用的方法稱為「黃光微影(Photolithography)」,其步驟與光罩的製作很類似,但是這裏使用「紫外光」而不是「電子束」。