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Hightech  2017-01-21 21:44  201609210018 
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以化學藥品與材料產生化學反應,將材料中不需要的部分溶解去除稱為「蝕刻(Etching)」,使用的方法有「濕式蝕刻」與「乾式蝕刻」兩種,這裡我們主要介紹目前先進製程使用的乾式蝕刻。