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Hightech  2017-01-16 18:17  201609210017 
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薄膜成長技術主要可以分為單晶、多晶、非晶等三種,包括:分子束磊晶(MBE)、有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD)、加熱蒸鍍、電子束蒸鍍、濺鍍、電漿化學氣相沉積(PECVD)、高溫氧化、旋轉塗佈等,細節請參考<基礎科學原理>。