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MUMPs製程(Multi User MEMS Process)
Hightech  2018-06-10 12:00  A20160925006 
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由美國柏克萊感測與致動中心(BSAC)於1990年代所提出的微機電系統標準製程,並且成為後來微機電系統代工產業的始祖,MUMPs製程可以製作出設計者所要求的大部分MEMS元件,主要有七層結構,設計者所繪製的設計圖必須滿足這個基本結構,才能順利進行代工。