利用靜電荷「同性相斥、異性相吸」的原理來製作的微致動器稱為「靜電微致動器(Electrostatic microactuator)」，它是所有微機電系統致動元件最常使用的一種，它的構造簡單同時可以長時間操作，我們先從靜電微致動器開始介紹吧！