利用不同材料「熱脹冷縮程度不同」的原理來製作微致動器稱為「電熱微致動器(Electrothermal microactuator)」，由於它的出力大，製作容易，尺寸及精度要求不高，可以配合不同的結構放大位移量，使用電流輸入加熱比較簡單，容易與其他積體電路元件整合。