科學家將單晶薄膜稱為「磊晶(Epitaxy)」，必須在非常嚴格的條件下才能成長出來，目前在生產線上用來成長磊晶最常用的方法就是使用「有機金屬化學氣相沉積(MOCVD：Metal Organic Chemical Vapor Deposition)」。