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Hightech  2017-01-17 03:56  A201610090010 
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電子束蒸鍍成長薄膜的過程中沒有化學反應發生,所以屬於物理氣相沉積(PVD),由於只需要高真空,而且蒸鍍的薄膜可以大量快速地在基板上沉積,成本較低適合工廠大量生產,這種技術目前比較常用在光學元件的薄膜製程。