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濺鍍(Sputter)
Hightech  2017-12-13 20:09  A20161009011 
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濺鍍在成長薄膜的過程中沒有化學反應發生,屬於物理氣相沉積(PVD),由於只需要高真空,而且蒸鍍的薄膜可以大量快速地在基板上沉積,成本較低適合工廠大量生產。