濺鍍(Sputter) Hightech 2017-12-13 20:09 A20161009011 進階 點閱 3763 留言 0 E 0 T 0 免費 進階 點閱 3763 留言 0 E 0 T 0 濺鍍在成長薄膜的過程中沒有化學反應發生,屬於物理氣相沉積(PVD),由於只需要高真空,而且蒸鍍的薄膜可以大量快速地在基板上沉積,成本較低適合工廠大量生產。