旋轉塗佈(Spin coating) Hightech 2017-12-13 20:15 A20161009016 進階 點閱 3438 留言 0 E 0 T 0 免費 進階 點閱 3438 留言 0 E 0 T 0 旋轉塗佈在成長薄膜的過程中沒有化學反應發生,由於不需要真空,而且薄膜可以大量快速地在基板上塗佈,成本極低適合工廠大量生產,但是塗佈的材料必須能夠溶解在化學溶劑中,而且塗佈的薄膜厚度較厚,通常用來塗佈積體電路(IC)製作時所使用的光阻,或是製作有機光波導元件等。